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기본정보
표준번호 | KS I ISO14644-9 | ||
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표준명(한글) | 클린룸 및 제어된 환경 ― 제9부: 부착 입자 농도에 따른 표면 청정도 평가 | ||
KS원문보기 |
일반정보
표준분야 | (I) 환경 - (I03) 대기 | 표준구분 | 방법 |
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제정일 | 2014-12-31 | 최종개정확인일 | 2024-12-06 |
기술심의회 | 산업환경 기술심의회(I) | 전문위원회 | 청정실내환경관리 |
적용범위 | 이 표준은 클린룸 및 제어된 환경 분야의 고체 표면상 입자 청정도 등급을 평가하는 절차를 규정한다. 부속서 A ∼ 부속서 D에서 표면 특성에 대한 시험 및 측정 방법 관련 권장 사항과 정보를 제공한다.
이 표준은 벽, 천장, 바닥, 작업 환경, 공구, 장비 및 제품과 같이 클린룸 및 제어된 환경의 모든 고체 표면에 적용된다. 입자 농도에 따른 표면 청정도(SCP, surface cleanliness by particle concentration) 평가 절차는 입자 크기를 0.05 μm에서 500 μm 사이의 입자로 제한한다 |
담당 부서 및 담당자 정보
표준개발협력기관 | 한국건설생활환경시험연구원 | ||
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담당부처 | 국가기술표준원 | 담당부서 | 바이오화학서비스표준과 |
담당자명 | 최철원 | 담당자 연락처 |
043-870-5395
043-870-5395 |
국제 표준 부합화
표준분야 | 대응 국제 표준 | 부합화 수준 |
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ISO 14644-9:2012 |
IDT 일치 |
|
ICS코드 |
13.040.35 ()
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표준분야 | ||
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대응 국제 표준 | ||
ISO 14644-9:2012 |
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부합화 수준 | ||
IDT 일치 |
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ICS코드 |
13.040.35 ()
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인용 표준
표준번호 | 표준명 | 제/개정일자 | |||
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표준번호 | KS I ISO14644-6 | 표준명 | 클린룸 및 제어된 환경 — 제6부: 용어 | 제/개정일자 | 2022-12-21 |
기술기준
기술기준명 | 부처명 | 부서명 | 제/개정일자 |
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표준 이력사항
변경일자 | 구분 | 고시번호 | 제정, 개정, 폐지사유 | 신구대비표 |
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변경일자![]() |
구분제정 |
고시번호2014-0991 |
제정, 개정, 폐지사유고체 표면상 입자농도에 따른 청정도 분류를 규정한 ISO 14644-9:2012를 KS로 부합화하여 활용코자 함 |
신구대비표 |
변경일자![]() |
구분개정 |
고시번호2019-0041 |
제정, 개정, 폐지사유용어 통일 및 일부 문구 수정 |
신구대비표 |
변경일자![]() |
구분개정 |
고시번호2024-0579 |
제정, 개정, 폐지사유국제표준(ISO, IEC, ITU) 개정내용 반영 |
신구대비표 |
인증심사기준
제/개정일자 | 구분 | 첨부파일 |
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